长鑫存储申请炉管清洗组件及方法专利，避免炉管内腔侧壁材料在清洗过程中被侵蚀
创始人
2024-02-19 12:35:00
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金融界2024年2月19日消息，据国家知识产权局公告，长鑫存储技术有限公司申请一项名为“炉管清洗组件及方法“，公开号CN117558605A，申请日期为2022年8月。
专利摘要显示，本公开涉及一种炉管清洗组件及方法，用于避免反应气体过度清洗对炉管内腔的侧壁造成侵蚀，炉管清洗组件包括：气体采集管道，其入口与炉管内腔连通；分析模块，入口与气体采集管道相连，用于获取气体采集管道内输出炉管气体中目标成分的含量，并生成目标成分时间序列；自动阀，设置于气体采集管道内，用于控制气体采集管道与分析模块的通断状态；控制器，与自动阀及分析模块相连，被配置为：根据目标成分时间序列获取目标侵蚀速率对应的目标时刻，及根据目标时刻生成结束清洗控制信号，以控制停止对炉管内腔的侧壁清洗，从而避免炉管内腔侧壁材料在清洗过程中被侵蚀，延长炉管的使用寿命，提高半导体制备效率并减少企业的经济支出。
来源：金融界
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